Характеристики электронного микроскопа
- FEG SEM высокого разрешения.
- Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений высокого разрешения, высокой контрастности, с низким уровнем шумов.
- Специальный In-Beam детектор в качестве опции для получения изображений высокого разрешения, особенно при низких ускоряющих напряжениях.
- Современная электронная оптика
- Уникальная конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами по технологии Wide Field Optics™ для работы в различных режимах сканирования (Разрешение, Глубина резкости, Широкое поле обзора и т.д.).
- Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью запатентованной TESCAN промежуточной электромагнитной линзы (IML).
- Конструкция колонны микроскопа, выполненная без единого механически центрируемого элемента, позволяет полностью автоматизировать настройку и юстировку колонны.
- Технология In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации параметров пучка электронов в реальном времени с помощью Electron Optical Design
- Уникальное «живое» стереоскопическое изображение, получаемое с помощью технологии 3D Beam, делает секреты микро- и нано-миров доступными для 3D-наблюдений и 3D-навигации.
- Сканирование с высокой скоростью (вплоть до 20 нс/пиксель).
Аналитические возможности
- Большая камера образцов с компуцентрическим столиком, моторизованным по 5-ти осям.
- Детекторы сцинтилляторного типа на основе высокочувствительных YAG кристаллов незаменимы при сканировании с высокими скоростями.
- 11+ интерфейсных портов камеры с оптимальной геометрией для установки детекторов EDX, WDX, EBSD.
- Интегрированная пневматическая (или, опционально, активная электромагнитная) подвеска для подавления влияния внешних вибраций.
Автоматизация исследований
- Моторизованный столик образцов с быстрым перемещением и с точным воспроизведением координат удобен для различных процедур автоматизации исследований.
- Совместимость со сторонним программным обеспечением и с продуктами других производителей по протоколу TCP/IP (что, например, позволяет автоматизировать EDX анализ).
- Высокопроизводительная автоматизация исследований больших площадей поверхности образцов для, например, автоматического поиска и анализа частиц.
Усовершенствованное управление
- Все процедуры настройки микроскопа автоматизированы, в том числе центрирование и настройка электронной оптики.
- Прогрессивное программное обеспечение для управления микроскопом, накопления, обработки, анализа и архивирования изображений.
- Многопользовательский интерфейс программного обеспечения, локализованный под несколько языков (в том числе под русский).
- Три уровня доступа к управлению микроскопом, включая EasySEM уровень для начинающих пользователей.
- Встроенная система сортировки изображений и создания отчетов.
- Управление микроскопом по сети и встроенный удаленный доступ/диагностика в стандартном комплекте программного обеспечения.
- Встроенная система самодиагностики.
Характеристики энергодисперсионного спектрометра:
— SDD детекторы X-Max с активной площадью кристалла 50 мм2
— Гарантированные характеристики разрешения по энергии не зависят от площади кристаллов
— Определение любых элементов от бериллия
— Моторизованный слайдер
— Высокая производительность и точность обеспечиваются при малых токах зонда — оптимальных для исследования наноструктур
— Не требуется жидкий азот для охлаждения
— Гарантирована стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета до 100 000 имп/сек — Гарантированные характеристики по легким элементам (углерод, фтор) соответствующие стандарту ISO 15632:2002 — Надежный количественный анализ при скорости счета >100 000имп/сек
— Уникальный интерфейс Inca Energy делает микроанализ простым и удобным
— Модернизация (замена кристалла) для детекторов этого семейства может выполняться на месте установки