Система UVISEL2 является завершенным модулем оборудования со встроенными устройствами для сбора и обработки данных эллипсометрии.
Эллипсометрия это метод исследования оптических характеристик поверхности или пленки между двумя средами. Эллипсометрический метод основан на конечных процессах, связанных с вращением плоскости поляризации волны. Эти изменения поляризации происходят каждый раз, когда пучок с известной ориентацией плоскости поляризации отражается или проходит через поверхность раздела сред или пленку.
Система UVISEL2 дает возможность пользователю проанализировать поляризованный свет в соответствии с углом отражения и исходным световым пучком.
Диапазон длин волн:
— Дальний ультрафиолет — видимый диапазон 190-1000 нм,
— Дальний ультрафиолет — видимый — ближний ИК диапазон 190-2100 нм,
— Дополнительный мультиволновой спектрограф (MWL — Multiwavelength) может быть добавлен к конфигурации, описанной выше. Спектрограф содержит до 32
фотоумножителей, каждый из которых выполняет сбор данных в определенном диапазоне длин волн (по запросу). Дополнительное зеркало может быть
установлен, чтобы выполнить сдвиг диапазона длин волн. Таким образом может быть проанализировано до 64 длин волн.
Источник света: Ксеноновая лампа 150Вт Xe
Столик для пробы:
— Столик XYZ с автоматическим управлением: 202×202 мм с автоматической регулировкой наклона.
Гониометр:
— С автоматическим управлением: автоматически регулируемый угол наклона от 40° до 90° с шагом 0,01°
Microspot:
— С автоматическим управлением: 4 положения: 0,08 — 0,12 — 0,25 — 1,2 мм
Программа DeltaPsi2 это уникальное программное обеспечение, которое может управлять всеми функциями и опциями системы UVISEL2. Это означает, что все подпрограммы запускаются и управляются программой DeltaPsi2.
Календарь использования прибора:
- 0202.Апрель.Понедельник
Учебный процесс
http://cvtbstu.ru/event/uchebnyj-protsess-8-2-2-2-2-2-2-2-2-3-2/Проведение лабораторных работ
- 0202.Апрель.Понедельник
Проведение научных исследований
http://cvtbstu.ru/event/provedenie-nauchnyh-issledovanij-9-2-2-2-2-2-2-2-3-3-2/No additional details for this event.
- 0303.Апрель.Вторник
Учебный процесс
http://cvtbstu.ru/event/uchebnyj-protsess-4-2-2-2-2-2-2-2-2-2-2-2-3-2/Проведение лабораторных работ
- 0303.Апрель.Вторник
Проведение научных исследований
http://cvtbstu.ru/event/provedenie-nauchnyh-issledovanij-3-2-2-2-2-2-2-2-2-4-2-2-3-2/No additional details for this event.
- 0404.Апрель.Среда
Проведение научных исследований
http://cvtbstu.ru/event/provedenie-nauchnyh-issledovanij-8-2-2-2-2-2-2-2-3-3-2/No additional details for this event.