Система UVISEL2 является завершенным модулем оборудования со встроенными устройствами для сбора и обработки данных эллипсометрии.

Эллипсометрия это метод исследования оптических характеристик поверхности или пленки между двумя средами. Эллипсометрический метод основан на конечных процессах, связанных с вращением плоскости поляризации волны. Эти изменения поляризации происходят каждый раз, когда пучок с известной ориентацией плоскости поляризации отражается или проходит через поверхность раздела сред или пленку.

Система UVISEL2 дает возможность пользователю проанализировать поляризованный свет в соответствии с углом отражения и исходным световым пучком.

Диапазон длин волн:

— Дальний ультрафиолет — видимый диапазон 190-1000 нм,

— Дальний ультрафиолет — видимый — ближний ИК диапазон 190-2100 нм,

— Дополнительный мультиволновой спектрограф (MWL — Multiwavelength) может быть добавлен к конфигурации, описанной выше. Спектрограф содержит до 32

фотоумножителей, каждый из которых выполняет сбор данных в определенном диапазоне длин волн (по запросу). Дополнительное зеркало может быть

установлен, чтобы выполнить сдвиг диапазона длин волн. Таким образом может быть проанализировано до 64 длин волн.

Источник света: Ксеноновая лампа 150Вт Xe

Столик для пробы:

— Столик XYZ с автоматическим управлением: 202×202 мм с автоматической регулировкой наклона.

Гониометр:

— С автоматическим управлением: автоматически регулируемый угол наклона от 40° до 90° с шагом 0,01°

Microspot:

— С автоматическим управлением: 4 положения: 0,08 — 0,12 — 0,25 — 1,2 мм

Программа DeltaPsi2 это уникальное программное обеспечение, которое может управлять всеми функциями и опциями системы UVISEL2. Это означает, что все подпрограммы запускаются и управляются программой DeltaPsi2.

Календарь использования прибора: