Вакуумная установка нанесения многофункциональных нанокомпозитных покрытий QVADRA 500 (569)

Работа установки QUADRA 500 основана на методе квадрупольного магнетронного распыления. В отличие от дуальной схемы магнетроны квадрупольной системы равномерно разнесены вокруг карусельного устройства. Это обеспечивает в процессе нанесения покрытий существенно более высокую однородность плазмы по всей траектории движения изделий-подложек и практически исключает наличие «теневых» зон с низкой степенью ионизации и малой плотностью потока металлических атомов.

Технические характеристики:

  • Потребляемая мощность:
    — в режиме откачки, не более, 3 кВ;
    — в режиме нанесения покрытий, не более, 30 кВт.
  • Расход водопроводной воды:
    — в режиме откачки, не более, 0,4 м3/час;
    — в режиме нанесения покрытий, не более, 1,2 м3/час.
  • Вакуумный откачной пост включает в себя:
    — вакуумную камеру с размером камеры (диаметр/высота), 600/500 мм;
    — турбомолекулярный насос фирмы ADIXEN;
    — форвакуумный безмасленый насос фирмы ADIXEN;
    — вакуумная запорная аппаратура с пневмоприводом фирмы SMC;
    — компрессор с пневмораспределителями и системой подготовки сжатого воздуха фирмы SMC;
    — cистема охлаждения вакуумного и технологического оборудования с системой блокировок по минимальным расходам по каждому устройству.
  • Время достижения в камере давления 3×10-3 Па с начала откачки не более 30 мин.
  • Натекание в камеру после откачки воздуха из камеры в течение 1 ч, замеренное при закрытом затворе, не более 0,2 нсм3/мин.
  • Квадрупольная распылительная система несбалансированых планарных магнетронов:
    — размер мишеней 380×80×6 мм;
    — размеры магнетронов  440×105×60 мм;
    — количество магнетронов 4 шт.;
    — возможность работы магнетронов в автономном, дуальном и квадрупольном режимах.
  • Система электропитания квадрупольной распылительной системы несбалансированных планарных магнетронов:
    — выходная мощность  4×9 кВт;
    — выходной ток по каждому магнетрону 0,5-15 А;
    — режим электропитания магнетронов: импульсный с задаваемой частотой 0,1-40 кГц, стабилизацией параметров и системой дугогашения;
    — возможность работы системы в автономном, дуальном и квадрупольном режимах.
  • Ионный источник:
    — тип ионного источника — ионный источник с замкнутым дрейфом электронов;
    — размер ионного пучка 250×40 мм
  • Блок питания ионного источника:
    — выходная мощность 1 кВт;
    — выходной ток 0,05-0,35 А;
    — выходное напряжение 150-3000 В
  • Система напуска технологических газов на базе измерителей-регуляторов расхода:
    — тип измерителей-регуляторов расхода: РРГ-10;
    — количество независимых каналов 3;
    — максимальное отклонение расхода газа 1 %;
    — ПИД регулирование потоков газа по датчику давления;
    — максимальное отклонение давления в камере не более 5 %.
  • Карусельное устройство:
    — планетарное вращение сателлитов — вокруг центральной оси карусели и вокруг своей оси;
    — диаметр орбиты по осям сателлитов 400 мм
    — количество сателлитов не менее 26 шт.
    — высота «эффективной» зоны 200 мм
  • Блок питания потенциала смещения.
    — блок питания потенциала смещения импульсный с задаваемой частотой 0.1-40 кГц, оснащенный системой стабилизации параметров и системой дугогашения;
    — потенциал смещения, подаваемый на карусель 10 — 1200 В
    — ток смещения при Uвых=1200 В не менее 3 А
    — ток смещения при Uвых ≤ 150 В не менее 20 А
  • Стойка управления
  • Стойка с автоматизированной системой управления на базе промышленного программируемого контроллера фирмы «FASTWELL», включающего:
    — контроллер с устройствами ввода-вывода и отображения информации;
    — система управления и контроля верхнего уровня на основе персонального ПК со специализированным программным обеспечением;
    — программное обеспечение контроллера.
  • Пакет технологических программ нанесения упрочняющих и функциональных покрытий:
    Многофазные нанокомпозитные покрытия: nc-TiN/nc-AlN, nc-TiAlN/a-Si3N4, nc-CrAlN/a-Si3N4, nc-Cr2О3/nc-Al2O3, nc-TiО2/nc-Al2O3

Календарь использования прибора:

< 2020 >
Сентябрь 28 - Октябрь 04
  • 28
    28.Сентябрь.Понедельник
    Нет событий
  • 29
    29.Сентябрь.Вторник
    Нет событий
  • 30
    30.Сентябрь.Среда
    Нет событий
  • 01
    01.Октябрь.Четверг
    Нет событий
  • 02
    02.Октябрь.Пятница
    Нет событий
  • 03
    03.Октябрь.Суббота
    Нет событий
  • 04
    04.Октябрь.Воскресенье
    Нет событий