Работа установки QUADRA 500 основана на методе квадрупольного магнетронного распыления. В отличие от дуальной схемы магнетроны квадрупольной системы равномерно разнесены вокруг карусельного устройства. Это обеспечивает в процессе нанесения покрытий существенно более высокую однородность плазмы по всей траектории движения изделий-подложек и практически исключает наличие «теневых» зон с низкой степенью ионизации и малой плотностью потока металлических атомов.
Технические характеристики:
- Потребляемая мощность:
— в режиме откачки, не более, 3 кВ;
— в режиме нанесения покрытий, не более, 30 кВт. - Расход водопроводной воды:
— в режиме откачки, не более, 0,4 м3/час;
— в режиме нанесения покрытий, не более, 1,2 м3/час. - Вакуумный откачной пост включает в себя:
— вакуумную камеру с размером камеры (диаметр/высота), 600/500 мм;
— турбомолекулярный насос фирмы ADIXEN;
— форвакуумный безмасленый насос фирмы ADIXEN;
— вакуумная запорная аппаратура с пневмоприводом фирмы SMC;
— компрессор с пневмораспределителями и системой подготовки сжатого воздуха фирмы SMC;
— cистема охлаждения вакуумного и технологического оборудования с системой блокировок по минимальным расходам по каждому устройству. - Время достижения в камере давления 3×10-3 Па с начала откачки не более 30 мин.
- Натекание в камеру после откачки воздуха из камеры в течение 1 ч, замеренное при закрытом затворе, не более 0,2 нсм3/мин.
- Квадрупольная распылительная система несбалансированых планарных магнетронов:
— размер мишеней 380×80×6 мм;
— размеры магнетронов 440×105×60 мм;
— количество магнетронов 4 шт.;
— возможность работы магнетронов в автономном, дуальном и квадрупольном режимах. - Система электропитания квадрупольной распылительной системы несбалансированных планарных магнетронов:
— выходная мощность 4×9 кВт;
— выходной ток по каждому магнетрону 0,5-15 А;
— режим электропитания магнетронов: импульсный с задаваемой частотой 0,1-40 кГц, стабилизацией параметров и системой дугогашения;
— возможность работы системы в автономном, дуальном и квадрупольном режимах. - Ионный источник:
— тип ионного источника — ионный источник с замкнутым дрейфом электронов;
— размер ионного пучка 250×40 мм - Блок питания ионного источника:
— выходная мощность 1 кВт;
— выходной ток 0,05-0,35 А;
— выходное напряжение 150-3000 В - Система напуска технологических газов на базе измерителей-регуляторов расхода:
— тип измерителей-регуляторов расхода: РРГ-10;
— количество независимых каналов 3;
— максимальное отклонение расхода газа 1 %;
— ПИД регулирование потоков газа по датчику давления;
— максимальное отклонение давления в камере не более 5 %. - Карусельное устройство:
— планетарное вращение сателлитов — вокруг центральной оси карусели и вокруг своей оси;
— диаметр орбиты по осям сателлитов 400 мм
— количество сателлитов не менее 26 шт.
— высота «эффективной» зоны 200 мм - Блок питания потенциала смещения.
— блок питания потенциала смещения импульсный с задаваемой частотой 0.1-40 кГц, оснащенный системой стабилизации параметров и системой дугогашения;
— потенциал смещения, подаваемый на карусель 10 — 1200 В
— ток смещения при Uвых=1200 В не менее 3 А
— ток смещения при Uвых ≤ 150 В не менее 20 А - Стойка управления
- Стойка с автоматизированной системой управления на базе промышленного программируемого контроллера фирмы «FASTWELL», включающего:
— контроллер с устройствами ввода-вывода и отображения информации;
— система управления и контроля верхнего уровня на основе персонального ПК со специализированным программным обеспечением;
— программное обеспечение контроллера. - Пакет технологических программ нанесения упрочняющих и функциональных покрытий:
Многофазные нанокомпозитные покрытия: nc-TiN/nc-AlN, nc-TiAlN/a-Si3N4, nc-CrAlN/a-Si3N4, nc-Cr2О3/nc-Al2O3, nc-TiО2/nc-Al2O3